介绍SEM是怎么样的一个组合呢？
由电子光学系统与扫描第统，信号检测以及显示系统、供电系统、真空系统等一些部分所组成的。在我们了解的光学系统就是镜筒由电子枪与电磁透镜的几级的样品所组成的。
在我们了解的镜筒中所有的电磁透镜是在样品的所上方，主要作用就是电子束的聚焦作用。而且在工作时的聚焦状态是我们把电子束的形成。我们称之为探针。
但是在我们对其样品的质量厚度的问题 进行一定的条件下制备时，是可以得到二次成品的电子逸出率的，这个仅仅取决于我们样品的表面是如何形成的角度。这个二次电子检测时所需人系统叫做显示系统的作用。
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