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采用电子探针仪进行的一种X射线显微分析。这个是电子显微分析是材料科学的一个很重要的分析方法之中，我们了解的电子显微分析各种仪器的一个可向型的一个功能，综合性方向的一个具大的发展。
电子显微镜的技术中有着一种电子显微分析技术，采用着聚焦着电子束与试样物质相互起到的各种物理信号的原理，分析试样物质的微区形态、晶体结构与化学组成的。
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