目前国内的干涉显微镜主要是由上海光学仪器一厂生产的,型号为6KA,它的工作原理就是光源通过聚光
镜,干涉滤光片在经过另一个聚光镜,然后射到反光镜上,随后通过孔径光阑和视场光阑,经过聚光镜
投射到分光板把投射的光束分成两部分,一部分是透过,一部分是反射。
透过的光束经过补偿板被物镜聚焦到被测样品的表面。最后被表面反射通过物镜和补偿板,到分光板上。
另一部分的光速从分光板反射到物镜,再到参考镜,经过参考镜的反射,重新到分光板。
两部分的光束相遇后发生干涉,可以形成鲜明的干涉带,通过调节反光镜,将它移动目镜的焦平面上,
这样我们就可以通过目镜观察干涉带及被测物体的影像了。