电感传感器的就是此类轮廓仪的一个部件之一。我们一般采用的有金刚石触针，这个触针尖端曲率半径标称尺寸标准。一般我们了解半径为2微米与5微米.10微米；这个锥度为60度与90度。测量时需要注意与工件间的配合。与这个测的表面所相垂直的。驱动器所在的速度拖动传感器而成的。
通过针描法原理工作的表面粗糙度测量仪的装置上一般都会由传感器，驱动器、电子装置、显示装置，微机系统工作台的一些主要部件所组装而成的。
这个传感器与我们所测量的路线所直接接入平衡电桥的，线圈的电感的变化所在电桥所把平衡所失去。电子装置将这一个电量所变化的放大所形成的。
测表面轮廓中的谷超伏，这个表面上是有一些滑行的，在产品上进行上下称动，以一个运动的支点所发生的一个变化。
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